법령과학기술정보통신부· 행정규칙2020.08.03(과학기술정보통신부) 차세대지능형반도체기술개발사업 운영관리규정출처: 과학기술정보통신부 (2020) · 공공누리 제1유형: 출처표시공공누리 제1유형